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產(chǎn)品名稱: 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列產(chǎn)品型號:產(chǎn)品時間: 2023-11-21超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術(shù),同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。
產(chǎn)品介紹
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
先進的自動化功能:EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
靈活的用戶界面:原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導(dǎo)航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
機型 | SU8600 系 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
電子槍 | 冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。 | |
加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
探測器 | (部分為選配項) | 上探測器(UD) |
UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能 | ||
下探測器(LD) | ||
頂探測器(TD) | ||
TD能量過濾器 | ||
鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD) | ||
半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED) | ||
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) | ||
陰極熒光探測器(CLD) | ||
掃描透射探測器(STEM Detector) | ||
附件 | (部分為選配項) | 導(dǎo)航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
軟件 | (部分為選配項) | EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素) |
樣品臺 | 馬達驅(qū)動軸 | 5軸馬達驅(qū)動(X/Y/R/Z/T) |
馬達驅(qū)動軸 | X:0~110 mm | |
Y:0~110 mm | ||
Z:1.5~40 mm | ||
T:-5~70° | ||
R:360° | ||
樣品室 | 樣品尺寸 | 最大直徑:150 mm |
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