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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱: 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品時間: 2023-11-21
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術(shù),同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

產(chǎn)品介紹

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

先進的自動化功能:EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面:原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導(dǎo)航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列


 

機型

SU8600

電子光學(xué)系統(tǒng)

二次電子像分辨率

0.6 nm@15 kV

0.7 nm@1 kV *

放大倍率

20 to 2,000,000   x

電子槍

冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。

加速電壓

0.5 to 30 kV

著陸電壓 *

0.01 to 20 kV

探測器

(部分為選配項)

上探測器(UD)

UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能

下探測器(LD)

頂探測器(TD)

TD能量過濾器

鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD)

半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED)

新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)

陰極熒光探測器(CLD)

掃描透射探測器(STEM Detector)

附件

(部分為選配項)

導(dǎo)航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)

軟件

(部分為選配項)

EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素)

樣品臺

馬達驅(qū)動軸

5軸馬達驅(qū)動(X/Y/R/Z/T)

馬達驅(qū)動軸

X:0~110 mm

Y:0~110 mm

Z:1.5~40 mm

T:-5~70°

R:360°

樣品室

樣品尺寸

最大直徑:150 mm


 

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