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產品名稱: 掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900
產品型號:
產品時間: 2023-11-21
掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結合眾多的自動化功能,可高效發揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察。

產品介紹

掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900 

①SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

·         通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品

·         選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態下快速更換樣品,大大提高了工作效率

·         具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*

·         紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

·         與GUI聯合,可配備樣品倉室導航相機

·         覆蓋整個可觀察區域

·         支持360度旋轉


②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

·         自動調整算法經改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

·         提高了自動聚焦精度

·         搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

■Multi Zigzag,可實現多區域的大視野觀察

■Report Creator,可利用獲得的數據批量生成數據報告

③可提供滿足測試需求的應用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

·         搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察

·         高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件


 

掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

 

ITEM

SU3800

SU3900

二級電子分解能

3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式)

15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式)

背散射電子分解能

4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式)

倍率

×5~×300,000(照片倍率*1)

×7~×800,000(實際顯示倍率*2)

加速電壓

0.3kV~30kV

低真空度設定

6~650 Pa

圖像位移

±50µm(WD=10mm)

最大樣品尺寸

200mm直徑

300mm直徑

樣品臺

X

0~100mm

0~150mm

Y

0~50mm

0~150mm

Z

5~65mm

5~85mm

R

360°連續

T

-20°~+90°

最大可觀察范圍

130mm直徑(R并用)

200mm直徑(R并用)

最大可觀察高度

80mm(WD=10mm)

130mm(WD=10mm)

電機驅動

5軸電機驅動

電子光學系統

電子槍

中心操控式鎢絲發射

物像鏡頭光圈

4孔可動光圈

檢測系統

二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器

EDX分析WD

WD=10mm(T.O.A=35°)

圖像顯示

自動光軸調整功能

自動光束調整(AFS→ABA→AFC→ABCC)

自動光軸調整(實時級別對齊)

自動調整光束亮度

自動圖像調整功能

自動亮度和對比度控制(ABCC)

自動對焦控制(AFC)

自動標記和焦點功能(ASF)

自動燈絲飽和度調整(AFS)

自動光束對準(ABA)

自動啟動(HV-ON→ABCC→AFC)

操作輔助功能

光機旋轉、動態聚焦、圖像質量改善功能、數據輸入(點對點測量、角度測量、文本)、預設放大、樣品臺位置導航功能(SEM   MAP)、光束標記功能

配件

■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器(UVD)、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成

配件(外部裝置)

能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、
  各種外部功能臺(加熱臺、冷卻臺、牽引臺)

 

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